白光干涉仪是一种新型的表面形貌测量方法，能够实现对样品表面形貌的三维测量。它通过扫描定位被测样品表面各点的干涉位置得到表面各点相对高度，重构表面三维轮廓，实现对样品表面三维形貌的测量。
白光干涉仪的三大性能特点
精度高、高重复性、高稳定性
1）采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块组成测量系统，保证测量精度高；
2）精密的Z向扫描模块和*的测量模式，保证测量重复性高；
3）高性能的内部抗震设计，为测量高稳定性保驾护航。
操作便捷的测量软件
依托人性化设计的测量软件，W11100光学3D表面轮廓仪的操作具备如下特点：
1）XYZ三轴均采用电动控制，比手动调节省时更省力；
2）可视化窗口，便于用户实时观察扫描过程；
3）扫描完成后，扫描模块自动跳转初始位置，无须用户重复操作；
4）Z向运动具备ZSTOP控制功能。
功能强大的XtremeVisionBasic版3D形貌分析软件
XtremeVisionBasic版3D形貌分析软件，在分析功能上具有如下特点：
1）强大的分析工具，不仅具备各种粗糙度参数分析功能，还具备强大的几何轮廓分析功能；
2）一键分析，常用的分析流程可保存为方案，测同种样品一键获取分析结果，提高批量测量效率；
3）测量参数多，可测依据ISO/ASME/GBT等标准的近百余种2D、3D参数。
